基于扫描探针激光外差干涉的位移测量系统研究

摘要

对探针振动信号进行分析，得到的基频可以用来表征探针的位移变化，二倍频的产生可以作为探针样品接触的依据。论文建立了探针 - 样品振动的非线性方程，系统仿真了基频及二倍频的振幅随探针 - 样品间距的变化规律，以及探究了针尖半径、杨氏模量、驱动力对振幅的影响，仿真结果表明，在斥力区，振幅的变化随探针样品间距的减小是呈线性变化的。